
Aplicación del carburo de boro en el pulido de obleas
Aplicación del carburo de boro en el pulido de obleas Ventajas del carburo de boro (B₄C) para el pulido de obleas semiconductoras Gracias a su altísima dureza (dureza Mohs: 9,3~9,5), su fuerte estabilidad química, su resistencia a ácidos y álcalis, sus bordes de grano afilados y su alta eficiencia de remoción de material, el polvo


